晶圆代工龙头(2330)位于南部科学园区的新厂,首度将再生水运用于工业生产,引起外界对于生产品质与良率恐受影响的疑虑。为此,中央相关部会与台南市政府合作推动「南科先进制程环境建置案进度督导平台」,针对水、电、土地等关键事项,定期召开进度管控会议。

台积电先进制程新厂落脚南科,政府承诺协助供应稳定水电,并提出首度运用再生水的方案。然而,目前半导体晶圆厂生产都用纯水,再生水能否去除杂质?晶圆生产品质与良率是否受到影响?都成为备受瞩目的焦点。

以政务委员身分参与会议的国发会主委陈美伶强调,再生水是现代为气候变迁及资源永续利用而常见的开源方法,目前已有成熟的技术及品质,包括新加坡、日本、澳洲等国均有相当发展及成果,运用范围也很广泛。

陈美伶说,各项产业生产用水必须配合生产需求,由于原有再生水标准与先进制程需求不同,因此南科先进制程用水需求及标准,在提出使用再生水时,即与用水端讨论供水品质及标准,以两段式RO作为供水规划,相关水质应可符合南科相关先进制程所需,并严格监测水质变化,一旦发现异常情况就会启动紧急供水措施,对于制程及良率将有更高的保障。

为协助业者排除投资障碍,行政院长赖清德主持加速投资台湾专案会议,逐项解决影响产业经营的关键问题。关于台积电南科先进制程新厂兴建案,中央相关部会成立专案协调平台,针对水、电、土地等关键事项,定期召开进度管控会议,并且邀请业者面对面沟通,掌握计画执行力的落实,迄今都在计画期程内,对于再生水的使用也已释疑。



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